真空干燥设备种类繁多，结构各异。其分类方法也不相同。
真空干燥机就是通过降低干燥室的压力以降低湿分的沸点，达到在低温下干燥的目的。工业干燥机按其加热方式可分为传导式和对流式两大类。回顾工业干燥机的发展，又可分为几个阶段，五十年代以前，主要是以传导式（例如箱式烘箱、真空干燥箱）为主。从手工装卸料发展到半机械化、机械化和连续式干燥。五十年代以后，干燥技术的开发为满足工业干燥的处理量大、高效、连续化、自动化的要求，重点进行了对流式干燥机的研发和开发。到七十年代初，对流式干燥机已取代传导式干燥机的主导地位。但随着工业的发展，在节能、环保、洁净等方面，对干燥机提出新的要求，而这些又是对流式干燥机一时难以解决的要求，因而传导式又得到新的发展。从七十年代到八十年代初，各种新型的传导式干燥机（例如多层带式真空干燥机、双锥回转干燥机、叶片式、振动式干燥机等）取代对流式干燥机逐渐增多。当然为了适应对节能、环保、洁净的要求，对流式也在设法加以改进，例如将传导式加热面与流化干燥机结合起来等等。
真空干燥机属于传导式干燥，即将冷凝器、真空泵与传导式干燥机配套，形成真空干燥装置。由于真空干燥具有干燥温度低、干燥速率大、节能、设备密闭防污染等优点，因而传导式干燥机大部分可设计成真空干燥装置，真空干燥在生物制品、药品、饮品以及热敏性物料、氧敏性物料、溶剂回收等干燥中起到独特作用。
