真空干燥时物料内外温度梯度小，由逆渗透作用使得作为溶剂的水独自移动，克服了溶质散失现象。真空干燥也容易实现产品多样化。以食品干燥为例，可以通过控制温度和真空度，使产品发泡，膨化，生产出酥脆、速溶等食品。
真空干燥机在真空环境下，水分的沸点降低了，可以实现低温干燥，为热敏性物料的干燥提供了有利条件；氧分压降低了，避免了物料在干燥过程中的氧化变质现象，保障了被干燥物料的质量，在缺氧状态下杀死了一些细菌，抑制了一些细菌的繁殖生长；真空干燥过程可以回收一些有毒有害的气体，防止了环境的污染。
如果使用不当，真空干燥机会出现弯曲，密封套损坏，过滤头变形和破裂现象，如真空管在干燥过程中，这是因为在干燥过程中的外部空气（简称放空）进入反冲过滤器头部，当机体达到较高的真空度时，会对真空系统的损坏造成正负流动的强大冲击。注意：在物料排空后要排空到排气罐，必须通过排空阀门控制流量，将阀门打开到一个罐体，真空度逐渐降低然后慢慢增加。
真空干燥物料内和表面之间压力差较大，在压力梯度作用下，水分很快移向表面，不会出现表面硬化。同时能提高干燥速率，缩短干燥时间，降低真空干燥机运转费用。
真空干燥机在干燥过程中往往会出现真空不够或过高，这通常有三个原因：
（1）真空端机械密封泄漏；
（2）真空管道泄漏或堵塞；
（3）过滤器被堵塞。这需要在使用过程中进行检查，同时要进行维护，清洗等。
